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제목 소·부·장 국산화 빨라진다…포토레지스트 생산 공장 증설
담당자 이경수 담당부서 홍보담당관
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등록일 2020-01-15 조회수/추천 165
내용

 

 

일본의 수출 규제 이후 반도체와 디스플레이 핵심 소재의 국산화가 속도감 있게 이뤄지고 있다.

 

정승일 산업통상자원부 차관은 15일 오후 경기도 화성에 있는 반도체·디스플레이용 소재 기업 동진쎄미켐을 방문했다.

 

이 기업은 불화아르곤 액침(ArF-immersion) 포토레지스트를 지난 2010년 국내 최초로 개발·생산한 업체로 올 1분기 중 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF) 등의 포토레지스트 생산 공장 증설에 나설 계획이다.

 

내년 초 이 시설이 정상 가동되면 동진쎄미켐은 포토레지스트를 현재보다 2배 이상 확대 생산할 수 있게 된다.

 

 

 

포토레지스트는 반도체와 디스플레이 제조 과정에서 기판 위에 전자회로 패턴을 형성하기 위해 사용하는 감광재다. 반응하는 빛의 파장에 따라 KrF(248nm), ArF(193nm), EUV(극자외선, 12.5nm) 등으로 구분하며 반응하는 빛의 파장이 짧을수록 공정 미세화가 가능하다.

 

포토레지스트는 그동안 대부분 일본에서 수입해 왔으나 일본의 수출 규제 이후 그 의존도를 낮추며 공급안정성을 빠르게 확보해 가고 있다.

 

벨기에, 미국, 독일 등으로 수입국을 다변화하고 있으며, 최근에는 듀폰으로부터 EUV용 포토레지스트 개발·생산 시설 구축을 위한 한국 투자를 확정받기도 했다. 아울러 국내 기술 개발과 생산 시설 확충도 이뤄지고 있다.

 

정 차관은 작년 7월 일본 수출 규제 이후 민관이 함께 노력한 결과 포토레지스트를 포함한 핵심소재의 공급 안정성이 확보되어 가고 있다며 기술 개발에 매진해 온 동진쎄미켐 임직원들에게 감사를 표했다.

 

또한 올해를 소재·부품·장비 산업 경쟁력 확보의 원년으로 삼고 대외 여건 변화에 관계없이 경쟁력 강화 정책을 지속적이고 일관되게 추진해 나가겠다고 밝혔다.

 

 

 

 

* 보다 자세한 내용은 반도체디스플레이과 주미나 사무관(044-203-4273)에게 문의 바람.

 


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